
Senzor úniku SQ4
Bezpečnostní senzor úniku kapaliny, typ 4
Bezpečnostní senzory úniku řady SQ4 detekují úniky a tím potlačí nebezpečí, které z nich vyplývají. Dvoudílná konstrukce, která se skládá ze senzoru a montážního držáku, zjednodušuje montáž. Samotný senzor je vybaven dvoustavovou detekcí: Detekční jednotka na přední straně senzoru vydá výstrahu, pokud přijde do styku s kapalinou, zatímco pokud se detekční jednotka ve středu senzoru ponoří, je únik považován za kritický a senzor spustí nouzové zastavení. Pro zajištění maximální flexibility je k dispozici také chemicky odolná verze. K řadiči SQ4-C11 lze připojit až 4 bezpečnostní senzory úniku kapaliny.
Charakteristiky:
- Dvoustupňová detekce (mírný únik, kritický únik)
- Typ 4, PLe, SIL3 (s řídicí jednotkou SQ4-C11)
- Chemicky odolné pouzdro (PFA)
- Provoz je možný i bez řídicí jednotky
Příslušenství:
- Montážní držák
- Řídicí jednotka
Aplikace

- Sledování úniků během výroby waferů